also,海洋光学资深技术&应用工程师主管卢坤俊还在本次论坛上发表了精彩演讲：《光谱检测在消费电子行业的应用》，以下是演讲内容：
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海洋光学是微型光谱仪的发明者，成立于1989年美国，已出货超40万台，2006年成立亚洲分公司。
光纤在光谱仪里的路径实现
光纤光谱仪又叫微型光谱仪。光纤通过 SMA 905或者FC接口，把光子引入到光谱仪内部，然后通过狭缝成像之后到达准直镜，对光路进行准直，之后到达光栅部分做分光，光栅主要是将光波四散成不同的光束，最终到达检测器。客户几乎不需要做非常复杂的光学设计就可以实现光谱的检测，把整个光路集成到名片大小的光谱仪里面来。
整个历程就是先通过狭缝，到准直镜，再到光栅，然后到聚焦镜，最终到检测器。通过CT 交叉光路的方式，把相对复杂的光路在一个非常小的光谱仪里面来实现。
光谱系统在量子点材料的光电性能表征
AR VR对屏幕的要求比较高，对尺寸、显示性能有很高的要求。主流的显示方案像OLED的或者是Micro LED或者 Mini LED，很多都用到了量子点的这种材料。
海洋光学提供对量子点的量子效率、亮度、光度学、色度学测量性能表征的一套系统，称为量子效率测量系统，可以对电致发光或者光致发光的器件或者材料做发光特性的检测，而且这套系统是模块化的设计，可以把系统放到手套箱里面做制备、测试同时进行的表征。可以对发光器件的量子效率、亮度、色度学指标进行测试。光致发光是需要一个激发光的，可以通过激发光源从上方打到下面的样品夹具里面，发光之后通过侧面的光纤，收光到光谱仪里来，最终实现测量。海洋光学可以通过对电致发光和光致发光的测量来实现最终的量子效率、亮度、色度学指标上的一些表征，特点是比较灵活。
微型光谱仪在半导体领域的应用的场景和原理
微型光谱仪在半导体领域应用是比较广泛的，有的已经成为主流的应用，有的还在研究中。给大家分享一下它的几个应用场景。
一个是薄膜制备的监控。我们知道在半导体薄膜制备的方法里面，有一个比较主流的方式是等离子增强化学气相沉积。中间用到了气体反应生成膜的方式进行镀膜。在这个过程中它会产生很多的等离子体，包括离子态的，包括自由基态的。在整个过程中都伴随着自由基以及原子或者离子的激发或者退激发，这个时候会有很多元素谱线发射出来。海洋光学的光谱仪可以轻易集成到系统里面，对原子的、离子的激发和退激发过程中产生的元素谱线进行收集，进行检测。可以在表征镀膜的进程，包括前端的气体比例的调配，都可以实时反馈到上游的系统里面去。
镀膜绕不开的话题，就是薄膜厚度的监控，也就是膜厚测量。在半导体生产加工过程中，数十次或者数百次的镀膜都会用到膜厚测量。光谱仪可以集成到系统里面，对薄膜的厚度进行实时的监控。原理就是用光波干涉的原理，光在通过上表面和下表面反射的时候产生的相位差做膜厚的测量。
等离子刻蚀过程中也需要用到光谱仪去实时监控。光刻蚀过程中终点检测指示器（EPD），可以对刻蚀的终点进行表征，确认刻蚀什么时候结束，也对晶圆表面的氧化膜层用等离子进行反应，在这个过程中产生了一系列的元素谱线进行检测。海洋光学在等离子刻蚀领域有很多专利，可以提供一整套系统，包括光谱仪以及光学附件。最终由客户来集成。
微型光谱仪在面板、IR小孔质量控制的应用及原理
微信光谱仪在消费电子领域里应用的也比较多，包括在面板和红外小孔质量控制的应用。对于 AR VR 设备来说，也都会有RGB小孔光线传感器，红外透过小孔可以做距离传感器，Vcsel 的小孔可以做面部识别的透过小孔。摄像头孔、LED孔、或是增透膜、防蓝光膜等等，都会对面板的透过率做检测，包括它的透过率、反射率，都会用到小光谱仪。质控也需要用小光谱仪集成到一个系统里面去做，能更好更快的表征。贴膜或者防蓝光膜需要去做一些反射率的表征，光源通过光纤探头打到样品表面，然后反射回去收集到光谱仪里面。这一套系统其实是相对于比较简单的，我们在客户的应用现场或者是集成到客户系统之后，它的展现形式会更多样，不仅仅是一些固定模式的搭配。
微型光谱仪在Vcsel及LED质量控制及分选的应用及原理
微型光谱仪在Vcsel和LED领域的质量控制和分选应该的也比较广泛。在LED的分选领域，海洋光学是做的最多的。LED的测量，包括色学性能，或者是面板的表征，离不开辐射测量，包括辐射通量，光通量，辐射强度，光强度，辐射照度，光照度，辐射亮度，光亮度都可以通过光谱仪来实现。光谱仪可以实现面测量。因为需要对光谱仪做校准，所以典型配置会有标准光源，加前面的光学元器件、收光元器件的一整套配置，对光谱仪的收光系统做辐射校准、辐射通亮或者辐射照度，甚至辐射亮度的校准，最终实现辐照度、辐亮度、辐射通亮甚至光照度、光通亮、光亮度的测试。
颜色测量分反射和辐射颜色。反射测量需要用到标准照明体做参考版。辐射测量是绝对测量，需要对光谱仪做绝对辐射测量的校准。典型的配置是光谱仪加上前端的收光器，构成了一套收光系统，就可以对发光体做表征，对光通量、辐射通量、光照度、辐射照度等等指标做测量。
演讲视频请关注公众号，回复“20221118”获取。
原文始发于微信公众号（艾邦VR产业资讯）
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